1、中電四十八所：中電四十八所事業(yè)二部承擔(dān)著擴(kuò)散爐等其他太陽(yáng)能光伏設(shè)備的生產(chǎn)，2008年，成功研制出了新型閉管擴(kuò)散爐——全封閉推舟軟著陸擴(kuò)散爐，2008年銷售數(shù)百臺(tái)之多，截至目前市場(chǎng)占有率在80%左右。包括其他光伏設(shè)備在內(nèi)，2008年銷售收入達(dá)10.15億元，新簽單5億多元。另外，2008年相繼為江西佳輝、神州光電等單位數(shù)十條生產(chǎn)線提供了除絲印機(jī)之外的整線裝備。今年一季度，中電四十八所銷售額達(dá)到收入4.1875億元，比去年同期增長(zhǎng)70%以上，真正實(shí)現(xiàn)了在金融危機(jī)影響下彎道不減速。四十八所新型擴(kuò)散爐，單管產(chǎn)能高達(dá)400片，在產(chǎn)能提高33%的同時(shí)，能源消耗降低50%以上，廢氣排放降低到原來(lái)開(kāi)管擴(kuò)散的1/10，能耗降低20%左右，平均單位擴(kuò)散成本降低20%以上。成功突破了爐門(mén)自動(dòng)密封、尾進(jìn)尾出送氣、廢氣自動(dòng)收集、三維送片機(jī)構(gòu)調(diào)整等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的大生產(chǎn)用新型太陽(yáng)能電池生產(chǎn)專用擴(kuò)散設(shè)備，價(jià)格卻只有進(jìn)口同類設(shè)備的1/3。
　　2、北京七星華創(chuàng):北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司（簡(jiǎn)稱“七星電子”）傳承五十多年電子裝備及元器件的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，于2001年9月成立。七星華創(chuàng)于2007年研制出新型擴(kuò)散爐，具有四套獨(dú)立的工藝爐管，關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，采用進(jìn)口智能控制器，可輸出四個(gè)開(kāi)關(guān)量，對(duì)爐溫、閥門(mén)動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制，并管理全部工藝時(shí)序，可編輯存貯十條工藝曲線實(shí)現(xiàn)為實(shí)現(xiàn)閉管擴(kuò)散工藝，所以必須進(jìn)行爐口密封，在這方面，七星華創(chuàng)經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)次的試驗(yàn)，包括數(shù)次失敗的考驗(yàn)，最終解決了這個(gè)棘手的難題：即在沒(méi)有任何水冷條件下，在工藝溫度高達(dá)900℃時(shí)，采用普通氟橡膠密封圈能夠使工藝管密封，并能夠長(zhǎng)期工作。
　　3、株洲眾欣科技：株洲眾欣科技專注于磁流體領(lǐng)域，公司創(chuàng)辦人羅喜梅女士是國(guó)內(nèi)第一個(gè)把磁流體技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并運(yùn)用到真空領(lǐng)域的研發(fā)型企業(yè)家。2007年，眾欣科技通過(guò)和國(guó)內(nèi)的大專院校的多名專家學(xué)者細(xì)致交流，然后進(jìn)行了大量的市場(chǎng)實(shí)際調(diào)查，眾欣科技認(rèn)為擴(kuò)散在電池片當(dāng)中，起到?jīng)Q定性的作用。從提高轉(zhuǎn)換率以及降低生產(chǎn)成本出發(fā)，在現(xiàn)有市場(chǎng)上使用的擴(kuò)散爐技術(shù)方面進(jìn)行了革新，成功研發(fā)出新型“氣旋動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散爐，截至目前已成功銷售3臺(tái)臥式“氣旋”擴(kuò)散爐。對(duì)于“動(dòng)態(tài)”擴(kuò)散的定義，眾欣科技是這樣解釋的，這是一個(gè)相對(duì)的概念，主要是針對(duì)硅片而言，現(xiàn)在市場(chǎng)上的硅片在擴(kuò)散的過(guò)程當(dāng)中都是靜止不動(dòng)的，而眾欣的動(dòng)態(tài)擴(kuò)散，就是硅片在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中是一個(gè)運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)。由于硅片主動(dòng)地尋找擴(kuò)散，而不是象原來(lái)的被動(dòng)擴(kuò)散，所以這個(gè)動(dòng)態(tài)擴(kuò)散的均勻性在遠(yuǎn)離上面確實(shí)可行，該擴(kuò)散爐最大的特點(diǎn)體現(xiàn)在擴(kuò)散的效果上：保持方塊電阻片內(nèi)均勻性在3歐姆之內(nèi)，源的使用量減少使用量三分之一。今年七月，眾欣科技將為湘潭一企業(yè)提供六管動(dòng)態(tài)擴(kuò)散爐，即25MW生產(chǎn)線。同時(shí)，根據(jù)市場(chǎng)的需要，眾欣科技也可以提供動(dòng)態(tài)擴(kuò)散改造服務(wù)，為電池片生產(chǎn)廠家節(jié)約大量的生產(chǎn)成本和運(yùn)行費(fèi)用。
　　4、青島賽瑞達(dá)：青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注資的高新技術(shù)企業(yè)，是集開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)廠家。具有自主研制、設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體專用工藝設(shè)備、包裝機(jī)械、智能化儀表等產(chǎn)品的能力，同時(shí)可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)，并且具備改造、裝備國(guó)外二手設(shè)備的能力。該公司擴(kuò)散爐為閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開(kāi)收集處理，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出，各種工藝氣體可分開(kāi)送入石英管內(nèi)，工藝氣體(三氯氧磷)可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)，采用懸臂式推拉舟送取電池片，另采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。
等離子刻蝕機(jī)——干法腐蝕設(shè)備全部國(guó)產(chǎn)為主，少量濕法腐蝕設(shè)備需要進(jìn)口
　　由于在擴(kuò)散過(guò)程中，即使采用背靠背擴(kuò)散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對(duì)太陽(yáng)能電池周邊的摻雜硅進(jìn)行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝，等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團(tuán)?；钚苑磻?yīng)基團(tuán)由于擴(kuò)散或者在電場(chǎng)作用下到達(dá)SiO2表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。在等離子體刻蝕機(jī)使用過(guò)程中，等離子體不能一直保持在某一穩(wěn)定狀態(tài)，有許多因素會(huì)對(duì)刻蝕機(jī)系統(tǒng)產(chǎn)生擾動(dòng)，如刻蝕機(jī)的定期維護(hù)（PM）、反應(yīng)腔室內(nèi)壁聚合物的沉積、設(shè)備部件的老化（傳感器及各種其他容易磨損的部件），以及未經(jīng)測(cè)量的進(jìn)入反應(yīng)腔室的晶片狀態(tài)的差異等。在不同的時(shí)間尺度范圍內(nèi)，刻蝕機(jī)產(chǎn)生漂移的原因是不同的，因而需要采用相應(yīng)的控制類型加以控制。PM與PM之間，刻蝕機(jī)要經(jīng)歷定期的清洗、部件的更換和維修等，這些都能對(duì)刻蝕工藝產(chǎn)生影響?？涛g機(jī)定期維護(hù)的目的是讓反應(yīng)腔室每次都能恢復(fù)到同樣的理想狀態(tài)，而這通常是很難達(dá)到的。因而會(huì)在前一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)快結(jié)束之時(shí)到下一次刻蝕機(jī)定期維護(hù)開(kāi)始后的一段時(shí)間發(fā)生工藝狀態(tài)的不連續(xù)。在一個(gè)刻蝕機(jī)定期維護(hù)周期之內(nèi)，刻蝕機(jī)狀態(tài)的改變主要是由于刻蝕產(chǎn)生的殘余聚合物在反應(yīng)腔室內(nèi)的沉積，以及易損件及可更換部件的磨損所引起的。
　　干法刻蝕（ICP）是目前主流的刻蝕設(shè)備工藝，它采用射頻輝光放電將參與反應(yīng)的化學(xué)氣體電離形成等離子體，通過(guò)對(duì)刻蝕參數(shù)精確的控制和測(cè)量，把光刻形成的電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上形成三維結(jié)構(gòu)。其間融合了等離子體、射頻、超高真空、自動(dòng)化控制等多種尖端技術(shù)，是電池片制造過(guò)程中至關(guān)重要的一環(huán)。綜觀國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，具有以下特點(diǎn)：采用片架旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)，提高刻蝕的均勻性；硅片放置自動(dòng)壓緊技術(shù)，減少了鉆蝕風(fēng)險(xiǎn)；ICP技術(shù)的形成及引入，提高了設(shè)備的各種效率；特別是大容量反應(yīng)室的設(shè)計(jì)，大大提高了電池片的處理能力。
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